چاقو گیٹ والو

کراس فلو پریشر کو ریگولیٹ کرنے والے والو کے ڈھانچے ہائی فلو پریشر کنٹرول ایپلی کیشنز کے لیے پرکشش ہیں کیونکہ ایکٹیویشن فورس کی ضرورت میں کمی اور ڈیوائس فوٹ پرنٹ ایریا میں کمی ہے۔ ایک چاقو گیٹ والو من گھڑت تھا، جو 1.5 بار کے سپلائی پریشر پر 1.3 Nl/min کے بہاؤ کو کنٹرول کرتا تھا۔ والو ڈیپ ری ایکٹیو آئن ایچنگ (DRIE) اور سلکان فیوژن بانڈنگ کا استعمال کرتے ہوئے مائیکرو فیبریکیٹڈ تھا۔ پریشر کنٹرول سسٹم میں مائیکرو مشینڈ نائف گیٹ والوز کا استعمال کارکردگی کو بڑھاتا ہے اور لاگت میں بچت کی جا سکتی ہے۔